CyberSCAN VANTAGE 2 膜厚测试仪

cyberSCAN VANTAGE 2是一款三维表面轮廓测量系统。通过结合高分辨率的共焦传感技术及高精度XY位移平台，该系统可以用x-，y-，z-的最高分辨率扫描200 ×200mm的区域。所有系统组件集成一体，不需要外部控制器，系统仅通过一根USB线和一根网线连接到控制PC。通过ScanSuite软件系统实现复杂表面分析和自动化测量。

cyberSCAN VANTAGE 2结构简单，用途丰富。主要应用于印刷电路的分析和质量控制，如陶瓷或其他材料基底的线路板膜厚测量；太阳能电池导线体积，厚度测量；环氧树脂膜厚等测量。同时还可以适用于高轮廓物体(如焊球、MEMS传感器 )的几何参数特征，位置测量，以及平面度，粗糙度，共面性分析等其他应用。

· 八寸晶圆厚度，翘曲度Warp/Bow

· 直线电机高精度高速率扫描，分辨率达50nm

· 白光共焦传感器分辨率最小可达3 nm，测量范围最大可达25 mm，测量速率：4 kHz

· 高分辨率离轴摄像机及分立式组合光源