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YXLON Cheetah EVO X射线检测系统

ꄴ前一个： 日机装高精度真空层压机
ꄲ后一个： DAStech DAS110划片机
  • 样品尺寸：800mm X 500mm
  • 最大投射面积：460mm X 410mm
  • 电压范围：20-160kV
  • 最大管功率64W，最大靶功率15W
  • 最小缺陷检测能力：0.75μm/0.35μm
  • 空间分辨率：1.5μm/0.7μm
  • 非晶硅平板探测器提供高分辨率、低信噪比的清晰图像
  • 最高像素分辨率：1004X620/1004X1004/1276X1276​​​​​​​
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