上海住荣科技有限公司-静电卡盘形貌测量仪

CyberScan CT450 线光谱共焦形貌测量仪

可应用于精密光学组件、半导体封装检测、静电卡盘测量

硬件概述

- 气浮大理石减震平台 (含. 自动高度调节)

- 安全联动门

- 通用测量平台，多传感器兼容，可搭配线传感器，高清晰相机，100 mm 自动Z轴，50nm分辨率，含断电自锁装置

- XY平台直线电机，450 mm x 450mm扫描范围，50nm分辨率

- 平台表面尺寸: 600 x 600 [mm]

- 平台最大承重： 30 kg

- 预留SECS/GEM 通讯协议接口

- 符合SEMI S2/S8规范

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白光共焦线传感器参数概览

E-Chuck测量实例

0. 测试项目概览

1. 凸点高度与位置测量

2. 共面性测量

3. 卡盘平整度测量

4. 卡盘晶圆测量

系列参考：